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ZJT-601衬底检测设备
详细描述
ZJT-601 用于 IC 及 LED 衬底片的质量检测。用来精密检测衬底片的平整度、翘曲度以及厚度等指标，并按照用户设定的数值进行自动分选的设备。 该设备具有衬底片自动传输系统、定位，高精度扫描运动系统，精度检测系统，数据处理以及故障显示报警等先进功能。 该设备采用不接触的逐片扫描检测，并能按照检测结果将衬底片自动传输到定义的片盒内，为用户进行精细化生产提供依据，从而提高用户产品的良率、效率和产品一致性，为用户创造价值。
技术指标
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片子尺寸 |
2inch--6inch |
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特点 |
用户化设定， 全自动，高精度，高效率。 |
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片盒装/卸模式 |
手动 |
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测量项目 |
LTV <0.15um(重复性) |
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TTV <0.15um(重复性) |
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Thickness <0.1um(重复性) |
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BOW <0.1um(重复性) |
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warp <0.5um(重复性) |
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C- Thickness <0.15um(重复性) |
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TIR <0.15um(重复性) |
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工作效率 |
>220 片/小时（2 英寸基片，2.5mm 阵列） |
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>220 片/小时（4 英寸基片，5mm 阵列） |
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>180 片/小时（6 英寸基片，10mm 阵列） |
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检测精度 |
<0.1um |
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检测方式 |
连续扫描 |
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片盒数量 |
5 盒，1 盒供片，4 盒分选(或根据用户要求设置) |
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安全模式 |
残留片处理(检测舱内.机械臂上.定心台上) 片盒未装提示 |
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真空错误 |
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运行过程位置、时序错误 |
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手动紧急停止、暂停 |
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锁屏功能 报警 |
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记录查询 |
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操作方式： |
操作员、工程师、管理员 |
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最小步距 |
<0.05mm |
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检测传感器 |
德国 PRECITEC 公司光学传感器检测（长寿命 LED 光源） |
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边缘要求 |
非接触 |
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校准 |
自动校准 |
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数据查询 |
按批次、按日期查询每个衬底片对应的数据图 |
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每个衬底片的数据导出 excel 格式 |
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